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光催化微反應器，通常含有小的通道尺寸（當量直徑小于500 µm）和通道多樣性，流體在這些通道中流動，并要求在這些通道中發生所要求的反應。這樣就導致了在微構造的化學設備中具有非常大的表面積/體積比率。

微通道反應器，內部結構主要由微米級（通常10～300μm）通道構成的微反應器。微反應器的“微”表示工藝流體的通道在微米級別。微反應器中可以包含有成百萬上千萬的微型通道，因此也實現很高的產量。